飞秒激光开辟了新的微细加工领域

摘要：

@@ 电子、光子和生物医学器件向小型化发展的趋势促进了激光微细加工的发展,而飞秒激光器是适于激光微细加工的最理想工具.飞秒激光脉冲具有制作小至几十纳米特征尺寸图形的加工本领,并能对透明材料进行各种微细加工,如钻孔、切割和形成特殊结构等.

机标关键词：飞秒激光、微细加工、加工领域

分类号：TN249;TG661;O437

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-13