采用激光加工和蚀刻工艺制作出直径为几十纳米量级的凹透镜

机标关键词：激光加工、凹透镜、纳米量级、工艺制作

分类号：TG665;O435;TN249

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

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