欧洲的纳米技术和纳米光刻

摘要：

@@ 1引言
最近几年,欧洲通过开展国家间的大型合作项目而使其微电子产业恢复了强劲的发展势头.根据Moore定律,进入纳米时代则需要在研究和开发方面进行持续不断的努力.为此,欧洲通过国家间的合作而再次显示出其在微电子产业中的超凡实力.

机标关键词：纳米技术、纳米光刻

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23