MEMS和微流体分析系统的发展

摘要：

微机电系统(MEMS)是在微电子及微机械等学科基础上发展起来的新兴多学科交叉研究领域,是当今科学技术最具潜力的发展方向之一,而微型流体分析系统是这一研究领域中的热点.本文综述了MEMS技术以及作为MEMS技术一个重要研究方向的微型流体分析系统的起源及其广阔的市场应用前景,并对MEMS产品的市场化存在的问题进行了讨论.MEMS技术及微型流体分析系统的诞生必将对今后的化学、医学及生物学等领域的研究工作产生重大影响.

机标关键词：微流体、mems技术、微机电系统、市场应用前景、多学科交叉、微机械、存在的问题、发展方向、市场化、学科基础

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：27-31