军用MEMS技术研究的最新进展

摘要：

本文讨论了美国陆军航空兵和导弹部队司令部(AMCOM)正在开发研究的微机电系统(MEMS)技术的最新进展.近年来,工业用低成本、低功率微型器件(从简单的温度计、压力传感器到内胎加速度计)目前技术的成熟水平已为开发研究军民两用MEMS器件奠定了坚实基础.AMCOM早期从事的MEMS技术开发着重于惯性MEMS传感器,但最近启动了一项新的陆军(联合)科学和技术目标(STO)研究项目,目的是研究开发具有中等角频率传感器分辨率且低成本的惯性组件,用于测量导弹姿态的偏航角和旋转滚动速率.这项举措极大地影响了美国国防先进研究计划署(DARPA)和其他政府部门,使其致力于研究开发坚固耐用的实验性惯性MEMS器件.在过去的2年中,AMCOM的MEMS研究范围不断地扩大,包括了用于导弹正常状况监测的环境MEMS传感器、射频MEMS器件、用于光束方向控制的光学MEMS器件以及用于光电子器件微型化的微光学"光具座"等多个项目.此外,MEMS封装和集成也成为人们关注的焦点.本文有选择地描述了这些领域中正在进行的研究项目,并给出某些军用MEMS传感器的技术要求.

机标关键词：mems传感器、mems器件、惯性mems、mems封装、压力传感器、光电子器件、射频mems、频率传感器、封装和集成、传感器分辨率

分类号：E9(军事技术)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：20-27