MEMS/MOEMS在光通信中的应用

摘要：

微机电系统(MEMS)在光学领域中的应用是其最重要的应用之一,其原因不仅在于微机械技术能够改善光学系统的性能和功能,还因为这些光学微系统能够满足市场对光通信网络、数据存储和传感器的需求.本文以MEMS光开关等为例,讨论了基于MEMS技术的各种光电器件在光通信网络中的发展趋势.

机标关键词：moems、mems光开关、光通信网络、mems技术、微机电系统、数据存储、光电器件、微机械技术、微系统、光学系统

分类号：TN91

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：8-12