快速、低成本SiC光学元件的加工技术

摘要：

碳化硅(SiC)是制作高性能光学元件的最佳材料,具有优于铍和低膨胀玻璃陶瓷的比刚度(r/E)、热导率和尺寸稳定等性能,但在预压、铸造、成型和精加工过程中的高额费用却却成为其在光学系统中广泛应用的主要障碍.即便是在为该项任务特殊设计的专用设备上,使用金刚石磨削的过程也是缓慢且昂贵的.本文描述的加工方法是利用多轴计算机数控(CNC)机床对一种特种石墨材料进行加工.这种石墨很容易被加工成任意复杂的形状,同时又能满足轻量化要求.然后将加工后的石墨件完全转化成SiC.这种转化保持了良好的尺寸稳定性.转化成SiC后的光学表面覆盖着细小颗粒,用传统的光学抛光技术对其进行抛光便可获得理想的表面光洁度.

机标关键词：低成本、加工技术、尺寸稳定性、计算机数控、玻璃陶瓷、金刚石磨削、表面光洁度、表面覆盖、特种石墨、加工方法

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：13-15