利用YAG准分子激光器进行微孔加工的现状

摘要：

@@ 需要微孔加工的应用领域很多,诸如材料方面有金属、高分子材料、硅片、陶瓷等;加工上分机械加工、电火花加工、蚀刻加工、激光加工、喷射加工等,根据材料或加工尺寸、形状而使用不同的加工方法.

机标关键词：准分子激光器、微孔加工

分类号：TN248;TG665;TP273

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19