准分子激光器透镜用的新型玻璃

摘要：

@@ 日本东京消息:Asahi玻璃有限公司最近研制出一种F2准分子激光器使用的透镜系统玻璃材料.众所周知,准分子激光器是下一代半导体光刻设备的侯选光源,列居其他光源之首.

机标关键词：准分子激光器

分类号：TN248;TP273;O435

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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