小面积上的镀膜成形

摘要：

@@ 微电子制造技术与设备用于光学处理技术已司空见惯,近年来光学技术用于芯片制作或淀积技术也取得了很大成功,但这些很大程度上还是一种单向的知识应用.然而,各种技术的融合已设计和制作出了一些新的、小型化和优化的光学系统,这在传统的光学设计及其制造方法中是前所未有的.

机标关键词：小面积

所属期刊栏目：17

分类号：TQ15

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：10-11