微光机电系统国内外研究进展

摘要：

本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点,并从微制造技术、微器件与系统及微光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状.我国微光机电系统的研究起步并不算晚,近年来成果十分显著,但要缩小与世界先进水平的差距,还需多方面的努力.

机标关键词：国内外发展现状、微制造技术、显著特点、微器件、世界先进、先进水平、简要介绍、近年来、多方面

所属期刊栏目：17

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5