厚、薄膜电阻激光快速微调技术

摘要：

详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数.

机标关键词：激光调阻系统、激光器、实时检测、激光微调、光束定位、扫描系统、检测原理、定位扫描、相关参数

所属期刊栏目：17

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：23-26