下一代集成电路器件和157 nm的曝光方法

摘要：

@@ 近年来的半导体集成电路的发展十分惊人,称这种集成电路为现在的集成化电子系统是很合适的.这就是所谓的系统LSE.其系统规模从大规模集成电路(LSI)向甚大规模集成电路(VLSI)扩大,并且器件数量向超过100万个的超大规模集成电路(ULSI)方向发展.21世纪初,ULSI系统本身就是电子仪器系统.可以说,它的发展给社会带来很大影响,以至出现了高速信息化社会.

机标关键词：集成电路、电路器件、下一代

所属期刊栏目：17

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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