激光一步建立三维微观结构

摘要：

@@ 洛杉矶加州大学(UCLA)的科技人员采用飞秒激光器对商用光敏抗蚀剂SU-8进行单次脉冲发射双光子曝光进行了研究.通过选择的光致抗蚀剂内部的曝光区域,他们能以几兆赫兹的重复频率产生三维结构.

机标关键词：微观结构

所属期刊栏目：17

分类号：TB383;TG174.44;TQ174

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：30-31