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10.3969/j.issn.1007-1180.2000.02.007

微机电系统的应用领域与市场

引用
@@ 尽管大多数工业观察家都预测在未来的5年里微机电系统(MEMS)的销售量将有可能迅速增长,然而,现在只能期望已经建立完善的MEMS生产线,诸如气囊加速计,汽车发动机绝对压力传感器、血压传感器以及热喷墨印刷机头等的销售额会有一定的增长.本文对MEMS的商业机遇做了评估,预测了未来市场的规模,并讨论了未来技术的挑战性.

微机电系统、应用领域

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TP212;TN405;TP391.9

2006-07-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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1007-1180

22-1250/TH

17

2000,17(2)

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