两种耐高温紫外正型光刻胶成膜树脂的制备及性能

摘要：

分别通过N-(p-羟基苯基)甲基丙烯酰胺与N-苯基马来酰亚胺、N-苯基甲基丙烯酰胺与N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺的共聚合,制备了两种聚合物树脂聚N-(p-羟基苯基)甲基丙烯酰胺共N-苯基马来酰亚胺(poly(HPMA-coPMI))和聚N-苯基甲基丙烯酰胺共N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺( poly( MPAco-HPMI)).结果表明,这两种聚合物都是按1:1的摩尔比交替共聚的,它们都具有良好的溶解性、成膜性和亲水性,并且它们的玻璃化温度Tg都在280℃以上.将它们分别与感光剂2,1,5-磺酰氯的衍生物、助剂二苯甲酮等复配成两种紫外正型光刻胶,初步光刻实验表明,其最大分辨率都可以达到1μm,并且都可以耐270℃的高温.

关键词：紫外正型光刻胶、成膜树脂、耐热性、聚N-(p-羟基苯基)甲基丙烯酰胺共N-苯基马来酰亚胺、聚N-苯基甲基丙烯酰胺共N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺

所属期刊栏目：30

分类号：O63(高分子化学（高聚物）)

资助基金：国家自然科学基金面上项目51172081

在线出版日期：2012-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：330-337