空心阴极N2等离子体放电光源实现普通PS版感光

摘要：

本文利用直流空心阴极放电方式产生了一种新型氮气等离子体蓝紫光源,实现了针对传统的预涂感光版(PS版)的感光,当N2气压70 Pa、放电电压580 V、电流1.8 A时,产生的蓝紫光功率密度为0.46 mW/cm2.本文进一步从曝光前后颜色密度值变化、感光材料红外分析方面,对PS版的曝光效果做了详细的测量.

关键词：空心阴极放电、PS版、高频脉冲

所属期刊栏目：24

分类号：TQ57

资助基金：北京市优秀人才培养基金20051D0500403;北京市重点学科建设项目E-b-05-74

在线出版日期：2006-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：211-217