成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的影响

摘要：

@@ 多数的重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料(以下简称抗蚀材料)都是用线性酚醛树脂作为成膜组分,用重氮萘醌的酯化产物作为感光性组分的光分解型感光材料.这种材料以其高反差的成像性能广泛地应用于电子、印刷及精密加工等各个领域中.常用的光致抗蚀剂及平版印刷的PS版材大多用的是这种材料.

关键词：感光材料、成膜树脂、重氮萘醌体系、抗蚀材料

所属期刊栏目：18

分类号：TB3(工程材料学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：85-94