MEMS热激发红外脉冲光源

摘要：

设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较.测试结果显示,发射光谱带在2～4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20～40 Hz之间有较好的调制度.这些特性已经符合多数红外传感器的要求.

关键词：红外光源、发射率、气体传感器、辐射材料

所属期刊栏目：19

分类号：TN212(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：38-42