激光位置检测中PSD的误差分析与实验研究

摘要：

通过实验研究了激光光束质量对PSD输出位置精度的影响.基于PSD工作原理分析并得出了背景光强与输出结果的关系,实验中采用与测量光源匹配的滤光片来消除背景光干扰,极大提高了PSD的测量精度.并通过双一次插值算法修正PSD的非线性误差,修正后结果表明B区测量误差显著减小,线性度和测量精度明显提高.

关键词：激光检测、位置精度、位置敏感探测器、背景光、非线性、插值算法

所属期刊栏目：19

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-14