气相质子交换法

摘要：

质子交换法是制作铌酸锂光波导的常用方法,介绍了液相和气相质子交换法制作光波导的原理及工艺,对气相法形成波导的损耗比较低的机理进行了探讨,并且提出了提高质子交换速度的方法.

关键词：集成光学、光波导、质子交换、气相质子交换法

所属期刊栏目：18

分类号：TN25(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2006-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9