椭偏法测试聚合物薄膜折射率的研究

摘要：

针对聚合物PMMA改性光波导研制的需求,自建了一台变入射角、开放光路、适用范围更广的椭偏测试仪.通过实际测量聚合物PMMA改性薄膜,并与国内椭偏仪实测数据进行对比分析,表明本系统的实验数据更为可信.在此基础上还用本系统实测了几种常用光刻胶薄膜,通过估算和分析它们的折射率在日照前后的变化,进一步验证本系统的可行性和适应性.论文最后对此类系统设置要点进行了归纳,为系统今后的改进提供参考.

关键词：聚合物薄膜、椭圆偏振仪、折射率、膜厚

所属期刊栏目：18

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：福建省青年科技人才创新项目2001J024

在线出版日期：2005-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-29