激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体

摘要：

针对激光气相合成氮化硅纳米粉体的性能与成本的矛盾,在对激光合成反应物的研究与分析的基础上,选择廉价、无氯硫、对CO2激光有强吸收、易于处理的有机硅烷反应物六甲基乙硅胺烷(HMDS)作为价格昂贵、难以处理的硅烷(SiH4)的替代反应物,进行了激光合成氮化硅纳米粉体的研究.

关键词：激光诱导化学气相合成、六甲基乙硅胺烷、氮化硅纳米粉体

所属期刊栏目：18

分类号：TB383;TN249(工程材料学)

在线出版日期：2005-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-13