室温晶片键合界面的弹性理论分析

摘要：

利用接触弹性力学的DMT(Derjaguin,Muller,Toporov)理论,考虑晶片表面起伏的随机性,导出了晶片键合的实际接触面积和有效键合能.并对结果进行了数值分析.讨论了影响室温键合强度大小的各种因素.

关键词：室温晶片键合、接触弹性力学、吸附能、表面能

所属期刊栏目：18

分类号：O343.3(固体力学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-14