激光直写技术的研究现状及其进展

摘要：

介绍了激光直写技术的最新发展现状,系统的功能、结构和工作方式,对当前该系统存在的一些问题进行了归纳分析,探讨了系统的应用范围和今后的发展方向.

关键词：激光直写、二元光学元件、光刻、空间光调制器、光变图像

所属期刊栏目：17

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2005-01-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5