用激光直写制作光束整形元件的实验研究

摘要：

利用迭代傅里叶算法优化得到了特定衍射图样的位相结构,分析讨论了采用单光束激光直写系统进行逐点光刻制作2个台阶二元光学元件位相掩模的基本原理,并给出了实验结果和实验误差分析,从而为发展一种制作周期短、成本低,且无对准误差的二元光学元件的制作方法提供了一种可能.

关键词：迭代傅里叶算法、激光直写、光束整形、二元光学元件、光刻

所属期刊栏目：17

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：58-61