卢瑟福背散射实验确定离子注入型半导体可饱和吸收镜研制过程中的注入剂量研究

摘要：

通过测量卢瑟福背散射沟道谱和随机谱,掌握了一种可以对制作离子注入型半导体可饱和吸收镜过程中离子注入的剂量进行选择的方法.

关键词：卢瑟福背散射实验沟道效应、半导体可饱和吸收镜、离子注入

所属期刊栏目：16

分类号：TN365(半导体技术)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19