用双光束激发改进纳米Si3N4激光合成工艺

摘要：

氮化硅(Si3N4)是优良的陶瓷材料,应用十分广泛.本文论述了激光诱导化学气相沉积法制备纳米Si3N4的工作原理,提出了减少游离硅的措施,采用双光束激发制备得到了超微的、非晶纳米Si3N4粉体.

关键词：激光诱导化学气相沉积、纳米Si3N4、双光束激发

所属期刊栏目：16

分类号：O644.18;TQ127.2(物理化学（理论化学）、化学物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：25-27