光波导用TiO2/SiO2复合薄膜的制备及其性能研究

摘要：

用离子自组装成膜技术制备了用作光波导器件的TiO2/SiO2复合薄膜,介绍了薄膜光学常数的测定方法,并研究了光波导的波导特性.结果表明随着TiO2含量的增大,光波导的折射率增加;但同时光波导损耗也将发生变化,一般TiO2占10%时,薄膜的波导损耗较低.在更高的含量范围内,必须使TiO2分散.

关键词：离子自组装、纳米薄膜、光波导、光学常数

所属期刊栏目：16

分类号：TN814+.6(无线电设备、电信设备)

资助基金：湖北省自然科学基金2001j2015

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：20-25