有助于集成光学的光刻技术

摘要：

@@ 在使用相同的人力、财力和原料的情况下可以制造出更多的产品,在提高性能的同时减少单个组件的个数,使利用平板光刻技术制造的、用于光纤通信领域的光学组件更加经济有效.

机标关键词：集成光学、光刻技术

所属期刊栏目：15

分类号：O439(光学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：37-38