8相位256×256衍射微透镜的设计与制作

摘要：

介绍了衍射微透镜阵列的设计原理与制作工艺方法,在此基础上研制出适用于3～5μm波长256×256PtSi红外焦平面的8相位256×256硅衍射微透镜阵列,阵列中微透镜的孔径为50μm,透镜F数为f/2.5,微透镜阵列的中心距为50μm.实测衍射效率大于80%,能在红外波前传感器中较好应用.

关键词：衍射微透镜、衍射效率、红外焦平面

所属期刊栏目：15

分类号：O436.1;TN304.1+2(光学)

资助基金：国家自然科学基金60177011

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：32-35