光波导用玻璃薄膜的制备及其性能研究

摘要：

采用磁控射频溅射法制备光波导用玻璃薄膜.本文重点分析了不同溅射条件如氧分压、基片种类、基片温度下制备的薄膜光学性能,通过比较,得到制备0.6328μm和1.55 μm窗口下光波导器件用玻璃薄膜所需溅射条件.

关键词：玻璃薄膜、光波导、溅射工艺

所属期刊栏目：15

分类号：O484.4+1;TN305.92(固体物理学)

资助基金：国家重点实验室基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-31