光学法检测超精加工面表面粗糙度的新进展

摘要：

本文针对超精加工面的测量特点,介绍近年来光学法检测表面粗糙度的进展.

关键词：光学法、测量、表面粗糙度

所属期刊栏目：14

分类号：TG84(公差与技术测量及机械量仪)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：43-45