一种新型光刻系统的研究

摘要：

介绍了一种新型的光刻系统-全内反射全息光刻系统.着重讨论了设计该系统时的几个重要因素,给出了用该系统开展的实验研究结果.

关键词：全息光刻、全内反射(TIR)全息

所属期刊栏目：14

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：22-25