圆柱状电阻激光刻槽扩阻研究

摘要：

圆柱状精密金属膜电阻采用激光刻螺线槽是电阻器制造技术的趋势.着重描述了激光扩阻试验依据和结果分析.

关键词：扩阻倍率、激光刻螺线槽、金属膜电阻

所属期刊栏目：11

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-32