抗深紫外光损伤镀膜新工艺的研究

摘要：

@@ 准分子激光因其独特的光学特性很适合各种精密材料加工和生物医学.至今,用于导光的光学元件特别是光学件镀膜层受损是制约准分子激光在该领域稳定可靠工作的根本原因.光学镀膜工艺师已经找到了一种行之有效的方法来解决这个问题.采用该方法,光学膜的寿命可提高一个数量级以上.新的研究计划表明抗损伤镀膜工艺研究将会有进一步的提高.

机标关键词：光损伤、新工艺、深紫外光

所属期刊栏目：11

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：26-27