金属氧化物TFT工艺中铜/钛蚀刻液浓度控制体系研究

摘要：

深入分析了铜钛刻蚀液的刻蚀机理,并对刻蚀液浓度的变化进行实验分析.在此基础上,通过实验完成了铜钛刻蚀液浓度变化模型曲线的研发,并提出了进行浓度控制的方法,实现了铜钛刻蚀液的稳定应用并极大地提高刻蚀液的使用寿命.研究为相关领域的生产和研发提供了一定的参考.

关键词：金属氧化物、湿法刻蚀、铜/钛刻蚀液、浓度控制

所属期刊栏目：43

分类号：TN949.12

在线出版日期：2023-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：48-52