共轭涡旋光干涉位移测量拓扑荷优化实验研究

摘要：

以共轭涡旋光干涉原理为基础,理论分析了干涉图像旋转角度和位移量的对应关系,利用光学仿真系统验证了理论的可行性.采用基于空间光调制器和改进型的马赫-泽德干涉仪组成的共轭涡旋光干涉测量系统,利用不同拓扑荷数的共轭涡旋光实验测量了纳米位移台的位移变化.实验结果表明,在位移量为100nm、200nm和250nm的情况下,拓扑荷数为3时的相对误差最小,分别为2.19％、1.28％和1.27％.研究结果有助于提高基于共轭涡旋光干涉位移测量的精度.

关键词：物理光学、涡旋光、位移测量、拓扑荷数、相对误差

所属期刊栏目：43

分类号：TN247;O436.1(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金62205307

在线出版日期：2023-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：11-16