铌酸锂薄膜高速电光开关的设计与制备

摘要：

基于硅基铌酸锂薄膜(Lithium Niobate on insulator,LNOI)材料平台,设计并制备了高速电光开关芯片,并实现了芯片的光纤耦合、管壳封装和性能测试.测试结果表明,该高速电光开关器件的开关速度达到13.4ns,消光比达到31.8 dB.研究工作对未来研制光学延时芯片和波束形成网络芯片具有重要的支撑意义.

关键词：铌酸锂薄膜、电光开关、光学波束形成

所属期刊栏目：43

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划;江苏省产业前瞻技术研发项目;重点实验室基金

在线出版日期：2023-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：7-10,16