波浪形界面结构的Al2O3/PMMA交叠薄膜设计与力学性能仿真

摘要：

文章以Al2O3/PMMA交叠薄膜为例,在其交叠界面处引入波浪形结构,通过增加Al2O3在弯曲方向的实际长度改善其力学性能.采用有限元仿真方法对Al2O3/PMMA交叠薄膜结构进行建模,分别研究了波浪形结构形貌、周期、深度和PMMA厚度等参数对交叠薄膜弯曲性能的影响规律.仿真结果表明,波浪形界面结构能较大提高交叠薄膜的弯曲性能,当波浪形结构的周期在500～1 500 nm,深度在600～1 600 nm范围内,PMMA厚度为6 μm时,交叠薄膜具有较好的弯曲性能,相比于没有引入界面结构的交叠薄膜,同等条件下产生的最大应力下降了超过70％,有效提升了封装薄膜的弯曲性能,对后续无机/有机交叠薄膜的制备工艺具有指导意义.

关键词：柔性有机发光二极管显示、薄膜封装、有限元仿真、界面结构、弯曲性能

所属期刊栏目：42

分类号：TN383;TN873(半导体技术)

资助基金：福建省教育厅中青年教师教育科研项目;福建省自然科学基金项目;闽都创新实验室自主部署项目

在线出版日期：2023-02-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：286-291