大尺寸掩膜版显影工艺研究

摘要：

对大尺寸(520 mm×800 mm及以上)掩膜版生产过程中的连续喷雾影喷液方式和狭缝液帘影喷液方式进行对比分析,通过实验及生产过程的监控,得出了两种显影喷液方式的优缺点.综合对比得出,在掩膜版的生产过程中,选择狭缝液帘显影喷液方式最佳.

关键词：大尺寸掩膜版、显影工艺、显影喷嘴、狭缝液帘、均匀性

所属期刊栏目：42

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2022-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：129-132