CCD亚微伏电荷转换因子结构的设计与验证

摘要：

设计了大尺寸输出节点和大尺寸放大器栅电容的CCD特殊输出结构,使输出节点总电容约为4.5×10-13F,对设计结构进行了工艺试验.对输出节点电容进行参数校准、结构优化、流片试验、测试验证.试验结果表明,优化设计后的CCD电压转换因子精确地达到了 0.352 μV/e-,满足了航天系统紫外线阵CCD满阱容量需达到1.0×107e-/pixel量级,饱和输出幅度在3.5～4 V范围,CCD的电压转换因子在0.35 μV/e-亚微伏水平(比传统CCD低1～2个数量级)的特殊输出结构要求.

关键词：电荷耦合器件、电荷转换因子、输出节点电容、亚微伏结构

所属期刊栏目：42

分类号：TN386.5(半导体技术)

在线出版日期：2022-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-31