优化HAD结构提高CCD紫外谱段量子效率的研究

摘要：

硅基正照式CCD探测器的紫外谱段响应普遍较低.针对如何提高正照式CCD在340 nm～390 nm谱段的紫外光探测性能进行了研究.在研究中,对正照式紫外线阵CCD进行了透射膜层优化,达到了光敏区表面对紫外波段光减少反射的效果;对CCD光敏区的结构进行了设计优化,达到光敏区降低界面态干扰的目的;对HAD结构的结构参数进行了优化,获得了极浅结的HAD结构.通过减反射膜、光敏区结构、HAD结构等三个方面的优化,较大程度地提升了正照式CCD紫外谱段的相互作用量子效率,从而提升了CCD对紫外谱光探测的量子效率.研究结果表明,正照式紫外线阵CCD探测器在300 nm～400 nm谱段范围内平均量子效率达到46.13％,其中340 nm～390 nm谱段范围内平均量子效率从8.6％提高到了47.48％.

关键词：正照式电荷耦合器件、紫外谱段、量子效率、减反射、空穴收集二极管

所属期刊栏目：40

分类号：TN386.5(半导体技术)

在线出版日期：2020-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：195-200