LNOI光电子集成芯片技术

摘要：

介绍了LNOI材料、光波导制备、光耦合和器件技术方面的研究进展,并针对LNOI材料在光电集成芯片方面的发展进行了展望.

关键词：薄膜铌酸锂、绝缘层上铌酸锂、集成微波光子、光电集成

所属期刊栏目：39

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2019-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：168-177