基于DMD的高速高精度空间光调制器

摘要：

现有主流商品化的空间光调制器(Spatial Light Modulator,SLM)基于硅基液晶”1”(Liquid Crystal on Silicon,LCoS)技术,存在着调制精度低、速度慢、幅度和相位无法独立调制等问题.本文提出的基于数字微镜阵列器件”2” (Digital Mirror Device,DMD)和共轴光学系统实现的空间光调制器克服了上述存在的问题,并且提高了其光强耐受度.

关键词：空间光调制器、高速高精度空间光调制、数字微镜阵列

所属期刊栏目：38

分类号：TN29(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2018-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：96-99