光电集成技术研究综述

摘要：

介绍了光电集成的基本概念以及从光子集成到光电集成的发展历程.从政府政策和企业个体两个层面对比分析了国内外光电集成技术的发展与研究现状,并详细阐述了光电集成实现的主要技术途径和技术水平现状,展望了光电集成的未来发展趋势和应用前景.

关键词：光电集成、光子集成、互补金属氧化物半导体、InP、硅光子、网络通信

所属期刊栏目：37

分类号：TN491;TN256(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2017-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：200-206