工业化N型高效双面晶体硅太阳电池扩散工艺研究

摘要：

采用磷硼共扩散的方法制备了N型高效双面电池,通过优化背场及发射极扩散工艺,研究了扩散工艺曲线对电池电性能参数的影响机理.实验结果表明,降低背场扩散方块电阻可提高电池填充因子,同时造成开路电压(Voc)和短路电流(Jsc)降低,需要在背场饱和电流密度(J0BSF)和填充因子(FF)之间找到一个平衡点;降低发射极表面杂质浓度和方块电阻并适当的增加结深,可改善与金属化栅线的接触.正面采用低浓度深结扩散工艺可改善Voc和FF,减少复合,提高Isc,电池效率增加了0.2％,平均效率达到20.41％.

关键词：N型、硼扩散、掺杂浓度、p-n结、电池效率

所属期刊栏目：37

分类号：TM919.4

资助基金：青海省科技厅企业研究转化与产业化专项2016-GX-C13

在线出版日期：2017-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：124-128