高亮单色硅基LED微显示器件的制作

摘要：

基于硅基有源驱动芯片和单色LED显示阵列芯片,利用光刻及沉膜工艺,在芯片上完成了640×480铟柱阵列的制备,之后采用回流焊、倒装焊工艺,实现了驱动芯片和显示芯片的互联.结果表明:采用倒装焊工艺可以实现硅基LED微显示器件的制作,具有可行性.

关键词：硅基发光二极管、微显示、铟-铟倒装焊、单色

所属期刊栏目：37

分类号：TN312.8(半导体技术)

在线出版日期：2017-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：119-123,135