SOI基级联双微环滤波器研究

摘要：

研究了基于绝缘衬底上的硅(SOI)材料的微环谐振器,实现了光滤波器的功能.采用电子束直写和干法刻蚀等工艺制作出SOI基微环谐振器,微环半径为74 μm.测试结果表明,器件的自由频谱宽度(FSR)为1.238 nm,1 550 nm波长附近的抑制比大于10 dB.通过对微环谐振器进行热调谐,在0～4 V电压范围内实现了大于一个FSR的可调谐滤波特性.

关键词：绝缘衬底上硅、微环谐振器、光栅耦合、可调谐

所属期刊栏目：37

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2017-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：104-107,111