激光掺杂制作选择性发射极电池扩散工艺的研究

摘要：

研究了激光掺杂制作选择性发射极电池的三氯氧磷(POCl3)扩散工艺.优化扩散时间、气体流量和温度控制参数,结合三氯氧磷扩散后磷硅玻璃(PSG)层中磷浓度、扩散层深度、表面掺杂浓度、扩散后方阻及激光后方块电阻的测试,得到了合适的三氯氧磷扩散工艺.与未采用优化工艺的电池相比,光电转换效率提升约0.3％.

关键词：激光掺杂、选择性发射极电池、三氯氧磷扩散、方块电阻

所属期刊栏目：36

分类号：TK513(特殊热能及其机械)

在线出版日期：2017-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：270-273,282